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据介绍，该平台是内地高校系统中独立建成的规模最大、工艺最完整、运营职业化的化合物半导体光电芯片公共服务平台之一。中心建筑面积2600平方米，其中千级、百级及万级洁净区面积达2100平方米。是深圳市首个同时支撑化合物光电芯片与MEMS传感芯片上游制造的公共服务平台，配置120余台套先进教学与研发工艺设备178棋牌官网版入口，构建起覆盖光刻、刻蚀、薄膜沉积、切磨抛及测试表征等关键环节的全流程工艺体系，可提供“设计—加工—封装—测试”一站式技术解决方案。

深圳技术大学党委书记陈秋明表示，该校半导体微纳加工中心与测试平台依托学校集成电路与光电芯片学院资源，致力于成为集工艺教学、前沿研发、中试验证和产业服务于一体的微纳加工技术研发创新高地和人才培养基地，将加快破解半导体光电产业领域关键核心技术，推动半导体与集成电路领域研究成果的工程化突破、产业化应用、市场化推广。

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